基于DSMC方法的涡轮分子泵跨流态抽气性能研究
李博， 马兆俊， 王晓冬， 巴德纯
On the Cross Flow Regime Pumping Performance of Turbomolecular Pumps Based on DSMC Method
LI Bo， MA Zhao-jun， WANG Xiao-dong， BA De-chun
东北大学学报:自然科学版
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2020, (11): 1623
-1628
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DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2020.11.016
