数控辅助超精密定位工作平台的研究
陈明方,邹平,韩钢,侯伯民
Research on NC Auxiliary UltraPrecision Positioning Work Platform
CHEN Mingfang, ZOU Ping, HAN Gang, HOU Bomin
东北大学学报(自然科学版) . 2013, (6): 875 -879 .  DOI: -