东北大学学报（自然科学版）
考虑多晶圆流的集束型设备群调度方法
周炳海， 黎明
Scheduling Method for Multi-cluster Tools with Diverse Wafer Flow Patterns
ZHOU Bing-hai， LI Ming
东北大学学报:自然科学版 . 2016, (5): 697 -701 .  DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2016.05.019