东北大学学报:自然科学版 ›› 2002, Vol. 23 ›› Issue (4): 391-393.DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2002.04.023
孙克;赵岩;张彩碚;李正林
收稿日期:2002-04-30
修回日期:2002-04-30
出版日期:2002-04-15
发布日期:2014-10-22
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Received:2002-04-30
Revised:2002-04-30
Online:2002-04-15
Published:2014-10-22
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Supported by:摘要： Nd:YAG脉冲激光扫描照射单晶Si基底表面AgNO3薄膜,薄膜热分解产生的Ag沉积在Si基底表面形成沉积线·在激光功率为28W,频率为35Hz时,最高扫描速度为9mm/s·SEM显示Ag颗粒均匀镶嵌在基底沉积线表面,AES研究沉积线表面元素随深度分布情况·以Ag颗粒为催化中心,在沉积线表面选区化学镀铜,超声振动显示镀铜膜与基底有良好的结合力·简单分析了沉积线表面Ag颗粒形状及表面凹坑出现的原因
中图分类号:
孙克;赵岩;张彩碚;李正林. Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银[J]. 东北大学学报:自然科学版, 2002, 23(4): 391-393.
-. -[J]. Journal of Northeastern University Natural Science, 2002, 23(4): 391-393.
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