东北大学学报（自然科学版）

东北大学学报:自然科学版 ›› 1978, Vol. - ›› Issue (4): 107-111.DOI: -

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圆斑双聚焦磁分析器

徐培光   

  1. 离子科研组
  • 收稿日期:1978-08-29 修回日期:1978-08-29 出版日期:1978-10-15 发布日期:2015-09-06
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  • Received:1978-08-29 Revised:1978-08-29 Online:1978-10-15 Published:2015-09-06
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摘要： <正>一般离子注入机中,多采用双聚焦磁分析器。双聚焦磁分析器的横向象距l_(11)~″与纵向像距l_⊥~″相等,但横向放大率Y_(11)与纵向放大率Y_⊥不一定相等。即如物点为圆形,则像点一般为椭圆或长条形。通常仅当所谓对称型式,即物距等于像距,放大率等于1的某一特殊情

关键词: 横向放大率, 磁分析器, 物距, 物点, 对称型, 离子注入机, 偏转角, 其他部件, 四极透镜, 物理参数

Abstract: -

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