东北大学学报（自然科学版）

东北大学学报:自然科学版 ›› 1989, Vol. 10 ›› Issue (2): 163-166.DOI: -

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一种新型的离子镀用HCD枪

张树林;王继常   

  1. 东北工学院真空技术教研室;东北工学院真空技术教研室
  • 收稿日期:1989-05-01 修回日期:1989-05-01 出版日期:1989-03-15 发布日期:2015-09-06
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  • Received:1989-05-01 Revised:1989-05-01 Online:1989-03-15 Published:2015-09-06
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摘要： 介绍一种偏转磁场和电场相平行的HCD枪(平行场枪)的研制结果。该装置由四个电磁场简化成只有一个磁极,结构简单、性能稳定、调试方便,实践证明是合理的。

关键词: 离子镀, 空心阴极放电枪, 偏转, 聚焦

Abstract: -

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