复合分子泵牵引级螺旋槽深对压缩比的影响
王晓冬， 张磊， 巴德纯， 陶继忠
Effect of Spiral Groove Depth of Compound Molecular Pump’s Drag Stage on Compression Ratio
WANG Xiao-dong， ZHANG Lei， BA De-chun， TAO Ji-zhong
东北大学学报:自然科学版
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2016, (10): 1437
-1440
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DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2016.10.015
