单晶硅微尺度侧磨表面质量影响因素试验研究
周云光， 巩亚东， 高奇， 朱宗孝
Experimental Study on Influencing Factor of Surface Quality in Micro Side Grinding of Single Crystal Silicon
ZHOU Yun-guang， GONG Ya-dong， GAO Qi， ZHU Zong-xiao
东北大学学报:自然科学版
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2017, (7): 983
-988
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DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2017.07.015
