东北大学学报（自然科学版）
图案几何参数对硅晶圆片表面吸收率的影响
王爱华;蔡九菊;
Effect of pattern geometric parameters on surface absorptance of silicon crystal wafers
Wang, Ai-Hua (1); Cai, Jiu-Ju (1)
东北大学学报(自然科学版) . 2011, (5): 687 -690 .  DOI: -