溅射离子泵抽气单元放电及离子输运仿真
宁久鑫， 黄海龙， 王晓冬， 孙浩
Simulation Investigation on Discharge and Ion Transport of Pumping Units for Sputter Ion Pumps
NING Jiu-xin， HUANG Hai-long， WANG Xiao-dong， SUN Hao
东北大学学报:自然科学版
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2020, (7): 962
-967
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DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2020.07.009
