流量计法测量微型溅射离子泵抽速的方法
耿健， 王晓冬， 郭美如， 黄海龙
Flowmeter Method of Measuring the Pumping Speed of Miniature Sputter Ion Pump
GENG Jian， WANG Xiao-dong， GUO Mei-ru， HUANG Hai-long
东北大学学报（自然科学版）
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2022, (9): 1298
-1305
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DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2022.09.012
