超声振动辅助抛光BK7过程中聚氨酯抛光垫磨损行为
梁赢东， 牛俊开， 张超， 于天彪
Wear Behavior of Polyurethane Polishing Pads Used in BK7 Ultrasonic Vibration-Assisted Polishing
LIANG Ying-dong， NIU Jun-kai， ZHANG Chao， YU Tian-biao
东北大学学报（自然科学版）
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2023, (1): 82
-88
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DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2023.01.012
