东北大学学报（自然科学版）
基于Fabry-Perot腔的光学真空测量技术研究
范栋， 李得天， 习振华， 刘坤
Research on Optical Vacuum Measurement Technology Based on Fabry-Perot Cavity
FAN Dong， LI De-tian， XI Zhen-hua， LIU Kun
东北大学学报（自然科学版） . 2023, (7): 989 -995 .  DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2023.07.010