电火花加工单晶硅微结构的表面质量及成形精度
孙瑶, 董俊逸, 唐本甲, 李思慧
Surface Quality and Forming Accuracy of Monocrystalline Silicon Microstructures by Electrical Discharge Machining
Yao SUN, Jun-yi DONG, Ben-jia TANG, Si-hui LI
东北大学学报（自然科学版）
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2025, (2): 96
-103
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DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2025.20230253
