东北大学学报（自然科学版）
SiO2沟槽晶圆片在快速热处理中的温度分布
王爱华，李立亚
Temperature Distribution of SiO2 Trench Wafer in Rapid Thermal Process
WANG Aihua， LI Liya
东北大学学报(自然科学版) . 2013, (2): 248 -250 .  DOI: -