微型溅射离子泵的阳极筒长度对抽气特性的影响
耿健， 王晓冬， 郭美如， 任正宜
Effects of the Length of the Anode Cylinder in the Miniature Sputter Ion Pump on the Pumping Characteristics
GENG Jian， WANG Xiao-dong， GUO Mei-ru， REN Zheng-yi
东北大学学报（自然科学版）
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2023, (11): 1596
-1603
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DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2023.11.012
