半导体制程设备铝合金涂层腐蚀失效行为研究进展
赵阳, 王宇航, 张涛, 王福会
Research Progress on the Corrosion Failure Behavior of Coatings on Aluminum Alloy for Semiconductor Fabrication Equipment
Yang ZHAO, Yu-hang WANG, Tao ZHANG, Fu-hui WANG
东北大学学报（自然科学版）
.
2025, (3): 28
-45
.
DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2025.20240182
