东北大学学报:自然科学版 ›› 2015, Vol. 36 ›› Issue (2): 176-181.DOI: 10.12068/j.issn.1005-3026.2015.02.006
刘晓斌, 周炳海
LIU Xiao-bin, ZHOU Bing-hai
摘要: 为有效解决300mm半导体晶圆制造工厂搬运系统整合式布局运行过程中的阻塞现象,提高搬运系统的运行效率,构建了OHT(高空提升运输)搬运系统防阻塞调度策略.首先,充分考虑OHT搬运系统中各搬运设备之间的相互影响,以搬运完工时间最小为优化目标,建立数学模型.然后,提出无等待轨道设计(NWL)和基于检测点的空车运行策略(CBCP)避免装卸点阻塞.结合第K短路径法和时间约束集概念,构建OHT搬运系统防阻塞策略(VCAP),并将其运用于OHT搬运系统的具体调度,设计OHT搬运系统防阻塞调度方法.最后进行仿真实验及对比分析,结果表明本文提出的防阻塞调度策略是有效可行的.
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